硅碳棒有良好的化學(xué)穩定性，抗酸能力強。在高溫條件下堿性物質(zhì)對其有侵蝕作用。

硅碳棒元件在1000℃以上長(cháng)期使用能與氧氣和水蒸氣發(fā)生如下作用：

①Sic+2O2→Sio2+CO2 ②Sic+4H2O=Sio2+4H2+CO2

致使元件中SiO2含量逐漸增多，電阻隨之緩慢增加，為之老化。如水蒸氣過(guò)多，會(huì )促進(jìn)SiC氧化，由②式反應產(chǎn)生的H2與空氣中的O2結合H2O再反應產(chǎn)生惡性循環(huán)。降低元件壽命。氫氣

 

(H2)能使元件機械強度降低。氮氣(N2)在1200℃以下能防止SiC氧化1350℃以上與SiC發(fā)生反應，使SiC分解氯氣(Cl2)能使Sic完全分解。

 

氯氣（cl2）在100℃以上便與sic發(fā)生反應，1200℃以上則使sic完全分解。